射頻電源
產品概述
關鍵特性
v 先進(jin)高效率、高穩定性射(she)頻功放技術
v 全數字(zi)控(kong)制，高穩定度和(he)高可(ke)靠性(xing)
v 穩定可靠(kao)的功放和(he)直(zhi)流控(kong)制模(mo)塊(kuai)
v 具(ju)有駐波保護功能(neng)，能(neng)在負(fu)載出現異(yi)常(chang)后快(kuai)速啟動
v 輸出功率(lv)余量大，可長期穩定(ding)的工作
v 具(ju)有(you)精(jing)確(que)的功率測量(liang)功能(neng)，能(neng)精(jing)確(que)的測量(liang)入(ru)射和反(fan)射功率
v 具有(you)自動增益控制(zhi)，能精準(zhun)的控制(zhi)輸出功率
v 支持本(ben)地(di)控(kong)制(zhi)和遠程控(kong)制(zhi)，遠程控(kong)制(zhi)采用RS232和RJ45網口
v 采用先進的功放技術(shu)，輸出(chu)功率可(ke)從1%至最(zui)大輸出(chu)功率連(lian)續可(ke)調(diao)
v 2kW及以上采用7寸觸控屏(ping)，操(cao)作直觀，簡單
v 模(mo)塊化結(jie)構設計，安裝維修方便，節省(sheng)空間，結(jie)構外形美觀，大方
v 支持實時(shi)功率和(he)負(fu)載阻(zu)抗(kang)測量
v 支(zhi)持連續工作(zuo)模(mo)式、脈沖(chong)工作(zuo)模(mo)式
v 能(neng)通過掃頻實(shi)現(xian)自(zi)動匹配功能(neng)
v 工作頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz
v 輸出功率：1kW、2kW、3kW、5kW、6kW、8kW、10kW
商業應用
應用領域及行業：
光伏產業、化工業、制造業、平板顯示器行業、半導體行業、科學研究等
等離子體清洗、等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)、等離子體刻蝕、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、薄膜沉積、硅晶鍍膜等
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